专利名称：用于提供较短且对称的接地路径的接地路径系统专利类型：发明专利
发明人：T·A·恩古耶,J·M·舒浩勒,爱德华四世·P·哈蒙德,D·伯
拉尼克,T·乌拉维,A·K·班塞尔,S·巴录佳,马骏,J·C·罗查
申请号：CN201980030846.0申请日：20190503公开号：CN112088426A公开日：20201215
摘要：此处所述的实施例关于提供较短且对称的路径的接地路径系统，用于将射频(RF)能量传播至接地以减少寄生等离子体的产生。接地路径系统将腔室的处理容积分叉以形成内部容积，内部容积隔绝处理容积的外部容积。
申请人：应用材料公司
地址：美国加利福尼亚州
国籍：US
代理机构：上海专利商标事务所有限公司
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